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为提高永磁同步直线电机的控制精度,满足高速度高精度运动控制系统的要求,建立了直线电机高精度动力学模型,搭建了带前馈模型补偿（Feedforward Compensation）的PID（FCPID）控制器。实验结果表明,该方法能够快速稳定地跟踪目标轨迹并保持较高的跟踪精度,可显著提高直线电机轨迹跟踪运动系统性能,适用于精密运动控制系统。