【摘 要】
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一、前言丹麦哥本哈根大学Bohr实验室的G.Sidenius于1965年首先创造了一个在同位素分离器上使用的空心阴极离子源。后来经过许多改进,成为目前的911A型重离子源,这个源从阴
【机 构】
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长沙半导体工艺设备研究所三室离子源组
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一、前言丹麦哥本哈根大学Bohr实验室的G.Sidenius于1965年首先创造了一个在同位素分离器上使用的空心阴极离子源。后来经过许多改进,成为目前的911A型重离子源,这个源从阴极引出离子束,它需要大约200高斯的均匀磁场,来提高引出束流强度。911A型重离子源在高能加速器和离子注入机等设备上早已得到广泛的使用。该源的主要特点是:
I. INTRODUCTION G.Sidenius at Bohr Laboratory, University of Copenhagen, Denmark, first created a hollow cathode ion source for use on isotope separators in 1965. Subsequent improvements have led to the current 911A heavy ion source, which sources an ion beam from the cathode and requires a uniform magnetic field of about 200 Gauss to increase the outgoing beam intensity. The Model 911A heavy ion source has long been widely used in devices such as high energy accelerators and ion implanters. The main features of this source are:
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