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随着微电机系统（MEMS）在众多领域的广泛应用，各种形式的微型驱动器不断得到发展。介绍微尺度光热膨胀与光热微驱动的原理，设计与加工制作了基本型和优化型触点式微型光热驱动器，开展了光热微驱动的实验研究，证明了光热微驱动的可行性，并验证了优化型触点式微型光热驱动器的优化性能。
触点式微型光热驱动器设计及实验研究
【摘 要】
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随着微电机系统（MEMS）在众多领域的广泛应用，各种形式的微型驱动器不断得到发展。介绍微尺度光热膨胀与光热微驱动的原理，设计与加工制作了基本型和优化型触点式微型光热驱动器，开
【机 构】
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浙江大学现代光学仪器国家重点实验室
【出 处】
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光学仪器
【发表日期】
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2008年4期
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