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给出了一种在ＣＭＯＳ电路基础上制备集成铁路电电容的方法。
集成铁电电容的制备和研究
【摘 要】
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给出了一种在ＣＭＯＳ电路基础上制备集成铁路电电容的方法。
【机 构】
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复旦大学电子工程系
【出 处】
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半导体技术
【发表日期】
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1999年4期
【基金项目】
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国家自然科学基金,上海应用材料研究中心（AM）项目,“863”项目资助
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