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研制了DCP PLASMA JET CVD金刚石膜沉积设备电源的稳流控制电路。该电路利用负反馈原理，通过SG3524调节输出脉冲的占空比，推动IGBT，为磁饱和电抗器提供控制电流，达到电源稳定输出电流的目的。
CVD金刚石膜沉积设备的稳流控制电路
【摘 要】
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研制了DCP PLASMA JET CVD金刚石膜沉积设备电源的稳流控制电路。该电路利用负反馈原理，通过SG3524调节输出脉冲的占空比，推动IGBT，为磁饱和电抗器提供控制电流，达到电源稳定输出
【机 构】
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河北省激光研究所
【出 处】
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河北省科学院学报
【发表日期】
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2004年2期
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