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用快速热水解的方法，制备直径小于10 nm的单分散Fe(OH)3胶体粒子。X射线衍射(XRD)和透射电镜(TEM)衍射分析表明：Fe(OH)3胶体粒子脱水后转变为Fe2O3纳米粒子。用离心分散的方法，胶体粒子在干燥过程中避免了团聚现象，实现其在Si表面的单层均匀分散覆盖。研究了胶体溶液浓度对胶体粒子尺寸及表面覆盖度的影响：改变胶体溶液的浓度，可以调节胶体粒子在Si表面的覆盖度，但对胶体粒子尺寸的影响不明显。