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电子制造设备,全称“电子工业专用制造设备”,指半导体、集成电路、电子元器件等专用制造设备。电子专用制造设备主要包括6大类:半导体器件和集成电路制造设备、电子元件制造设备、电真空器件制造设备、实验设备、电子通用设备和电子整机装联设备。电子制造设备行业整体规模200~300亿元,企业规模普遍不大,年产值5000万元以上企业400多家。