论文部分内容阅读
<正> 1 引言中国的IC制造技术起步并不晚(始于1965年,与日本同步,比韩国早10年),而如今大大落后于世界先进水平。谈到中国的集成电路制造发展道路,许多中国IC行业的老前辈和资深人士有许多感叹,同时也留下了许多遗憾。IC行业分两大块:设计和制造,这里我主要论及IC制造技术。造成中国目前IC制造技术发展滞后的原因有很多,但总括起来不外乎三个主要原因:认识不足、人力和财力匮乏。