【摘 要】
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采用特制的电解池在不同条件下制备了一系列多孔硅样品,通过测定其SPS发现,多孔硅的SPS特征带同单晶硅相比有明显蓝移,并且随制备条件不同,蓝移效应也不同。电解质中HF浓度和电解时间对其
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采用特制的电解池在不同条件下制备了一系列多孔硅样品,通过测定其SPS发现,多孔硅的SPS特征带同单晶硅相比有明显蓝移,并且随制备条件不同,蓝移效应也不同。电解质中HF浓度和电解时间对其SPS响应有明显影响。这一现象的出现主要归因于量子线阵的生成。
A series of porous silicon samples were prepared under different conditions by a special electrolytic cell. SPS measurements showed that the SPS characteristic band of porous silicon has a clear blue shift compared with that of single-crystal silicon. And with the different preparation conditions, the blue shift effect different. Electrolyte HF concentration and electrolysis time significantly affected its SPS response. The appearance of this phenomenon is mainly due to the generation of quantum linear arrays.
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