分子束外延AlGaN／GaN异质结场效应晶体管材料

来源 :固体电子学研究与进展 | 被引量 : 0次 | 上传用户：zhanglicg

【摘要】

：

用自组装的氨源分子束外延（NH3-MBE）系统和射频等离子体辅助分子束外延（PA-MBE）系统在CD面蓝宝石衬底上外延了优质GaN以及AlGan/GAN二维电子气材料。GaN膜（1，2μm厚）室温电子迁移率

【作者】

：

孙殿照王晓亮等

【机构】

：

中国科学院半导体所

【出处】

：

固体电子学研究与进展

【发表日期】

：

2002年2期

【关键词】

：

分子束外延 ALGAN/GAN Ⅲ族氮化物材料二维电子气异质结场效应晶体管氮化镓氮化铝 molecular beam epitaxy groupⅢ n

下载到本地 , 更方便阅读

下载此文赞助VIP

声明 : 本文档内容版权归属内容提供方 , 如果您对本文有版权争议 , 可与客服联系进行内容授权或下架

论文部分内容阅读

用自组装的氨源分子束外延（NH3-MBE）系统和射频等离子体辅助分子束外延（PA-MBE）系统在CD面蓝宝石衬底上外延了优质GaN以及AlGan/GAN二维电子气材料。GaN膜（1，2μm厚）室温电子迁移率达300cm^2/v·s，背景电子浓度低至2×10^17cm^-3。双晶X射线衍射（0002）摇摆曲线半高宽为6arcmin。AlGaN/GaN二维电子气材料最高的室温和77K二维电子气电子迁移率分别为730cm^2/V·s和1200cm^2/v·s，相应的电子面

其他文献

一种新的预测模型及其应用

在传统累加的GM（1，1）模型基础上，提出了一种新的基于混广义累加生成的GM（1，1）预测模型．给出了混广义累加生成的定义，并在此基础上建立了新模型，研究了该模型的参数辨识和模型的求解算法

期刊

灰预测阶段型序列混广义累加生成GM(11)模型forecasting model step series Mixed Generalized Ac

嵌入式设备上Mobile SVG显示的反走样算法研究

以嵌入式设备上Mobile SVG表示模型为基础,分析了反走样技术在低端设备上实现的具体问题.利用后滤波的原理,对多邻接点时新边界点的选择和轮廓端点的对称合成等问题进行了分析,采用构造拟合曲线查找表进行曲线拟合的方法实现反走样.由于映射关系独立于具体图形绘制而事先已经建立,因而计算量不大,对于低端设备图形应用非常适合.实验证明该方法用于Mobile SVG在嵌入式设备上显示时反走样有很好的效果.

期刊

MobileSVG后滤波反走样Mobile SVG after filter antialiasing

一种连续可调接地电容倍比器的实现

提出了一种用电流传送器（CCⅡ+/-）构成的接地电容倍比器，该倍比器的电容量可经接地电阻连续调节，线性可调范围大，利用此接地电容，另添加一个电阻，可构成一阶低通滤波器，改变接地电阻

期刊

电流传送器连续可调电容倍比器接地current conveyor continuously tunable capacitor multiplier

超大型船舶进坞安全操纵方案研究

为满足长江修船业快速发展的需要，配套的大型修船坞工程被立项建设．由于船坞建设所在水域的特殊性和超大型船舶独有的操纵特性，超大型船舶进坞的安全操纵成为一个迫切需要解决的

期刊

超大型船舶船坞操纵very large crude carrier（VLCC） dock maneuver

ZnMgSe／ZnCdSe多量子阱的光学性质

通过光致发光（PL）和拉曼（Raman)光谱研究了分子束外延（MBE）生长的ZnMgSe/ZnCdSe多量子阱的光学性质。在80K到300K温度范围内，观测到了PL光谱中来自量子阱的自由激子发光，通过发光强

期刊

多量子阱光致发光拉曼光谱quantum well photoluminescence Raman spectra

QS发布2014年世界大学学科排行榜

英国知名高等教育研究机构QS 2月26日发布2014年世界大学学科排行榜,作为最具影响力的全球大学排行榜之一,QS世界大学排行榜从2004年起连续十年发布权威大学排名。纵观2014年

期刊

大学学科大学排行榜QS大学排名高等教育研究学科排名电子工程十年中国农业大学中国人民大学

桥区船舶运动轨迹数值模拟与实船试验对比研究

利用PVM对建立的桥区水流场数学模型进行离散和数值求解，在此基础上，根据建立的船舶运动方程，对桥区船舶运动特性进行了数值模拟．通过实船试验，根据船舶漂移量数学模型，对建桥前后

期刊

有限体积法实船试验船舶运动轨迹数值模拟水动力对比研究MMGFVM full-scale experiment bridge area n

重疾险给付条件：合理性和再设定

重大疾病险给付条款所依据的医疗技术规范和确诊标准落后，无法体现目前医学界普遍通行的确诊要求，与现实的治疗手段相差甚远，不符合使重疾险被保险人能够在身患重大疾病时得到一

期刊

重大疾病保险给付条件合理性Critical Diseases＇ Insurance Claiming Condition Rationality

0．1微米级MOS器件制作与特性研究

对0.1微米级MOS器件的制作方法进行了研究,并提出了两次曝光的新方法.文中还介绍了芯片制作所用版图设计和实际制作过程,得到了最小沟道长为0.12微米的MOS器件.最后对沟长0.1

期刊

MOS器件深亚微米金属-氧化物-半导体器件两次曝光法热载流子效应Hot carriersIntegrated circuitsMicrometers

长三角地区FDI挤出效应：一个简化的估算

在长三角地区，FDI远远大于社会资金的缺口，外资与内资在投资机会和商品市场上的竞争必然会对内资产生挤出效应。通过实证得出：FDI挤入挤出系数0.83，表明外商直接投资部分替代了国

期刊

FDI挤出效应挤入效应

分子束外延AlGaN／GaN异质结场效应晶体管材料

与本文相关的学术论文