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真空磁过滤弧沉积碳氮薄膜的研究
真空磁过滤弧沉积碳氮薄膜的研究
来源 :功能材料与器件学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户:hong_77521
【摘 要】
:
本文采用真空磁过滤弧沉积技术,在Si,石英及Ti/C衬底上制备得到非晶碳氮薄膜。采用卢瑟福背散射分析对薄膜的面密度及N含量进行定量计算。用紫外-可见透射光谱与红外反射光谱研究了薄膜
【作 者】
:
张智颖
俞跃辉
【机 构】
:
中科院上海冶金研究所离子束开放研究实验室
【出 处】
:
功能材料与器件学报
【发表日期】
:
1997年1期
【关键词】
:
光学性能
碳氮薄膜
薄膜
FAD
弧源沉积
CN x
filtered arc deposition
optical properties
【基金项目】
:
国家自然科学基金
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本文采用真空磁过滤弧沉积技术,在Si,石英及Ti/C衬底上制备得到非晶碳氮薄膜。采用卢瑟福背散射分析对薄膜的面密度及N含量进行定量计算。用紫外-可见透射光谱与红外反射光谱研究了薄膜的光学性能。
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