GeSi调制器与探测器单片光电集成

来源 :半导体光电 | 被引量 : 0次 | 上传用户:hellobaby54088
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文章以GeSi材料为基础,从理论和实践两方面讨论将波导、调制器、探测器集成在一起的可能性,分析结果表明,三者之间的光集成在理论上是可行的,在工艺上也是可以实现的。
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