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硅外延及其应用
硅外延及其应用
来源 :云南冶金 | 被引量 : 0次 | 上传用户:WHDMJ
【摘 要】
:
介绍了硅外延生长技术,综述了应用于硅外延的分子束外延(MBE)、化学气相沉积(CVD)、液相沉积(LPE)三种工艺,并介绍了Si基外延材料器件的应用。
【作 者】
:
徐远志
胡亮
吴忠元
【机 构】
:
昆明冶研新材料股份有限公司,昆明理工大学化学工程学院
【出 处】
:
云南冶金
【发表日期】
:
2013年03期
【关键词】
:
MBE
CVD
LPE
硅外延
应用
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介绍了硅外延生长技术,综述了应用于硅外延的分子束外延(MBE)、化学气相沉积(CVD)、液相沉积(LPE)三种工艺,并介绍了Si基外延材料器件的应用。
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