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为了提高90°转向相位延迟器件对入射角的不敏感度，采用合适的光学材料和器件全内反射角，设计了一种对入射角不敏感的90°转向相位延迟器件。该器件的两个全反射角变化相反，当入射光的入射角变化不大时，由两个内反射角引起的相位延迟的变化可以互相补偿。从而克服了延迟量对入射角的灵敏性，并实现了90°转向。结果表明，入射角在±3°之间变化时，相位延迟偏差仅为0．08°，延迟量的稳定性很好。