利用脉冲激光剥蚀技术制备PZT铁电薄膜

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利用脉冲激光剥蚀技术在抛光的硅片上制备出了Pb(Zr,Ti)O3铁电薄膜,经过淀积后的激光退火工艺,大大改善了这种膜的铁电性,研究了影响薄膜性能的多种因素,利用X射线衍射,分析了薄膜的结构,测量了薄膜的居里温度和电滞回线。
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