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介绍了利用软刻蚀紫外模塑技术制作复制聚合物折射和衍射微透镜阵列的工艺过程。实验过程和测试结果表明，聚二甲基硅氧烷(PDMS)模具可以完好地将母版上的微透镜阵列复制到硅或玻璃材料上的光敏胶上，并可多次使用，且母版无损伤。此技术具有速度快，工艺简单的特点，可用于微透镜与图像传感器的单片集成。
软刻蚀复制技术制作聚合物微透镜阵列
【摘 要】
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介绍了利用软刻蚀紫外模塑技术制作复制聚合物折射和衍射微透镜阵列的工艺过程。实验过程和测试结果表明，聚二甲基硅氧烷(PDMS)模具可以完好地将母版上的微透镜阵列复制到硅或
【机 构】
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华中科技大学光电子工程系,重庆光电技术研究所
【出 处】
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半导体光电
【发表日期】
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2005年B03期
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