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提出了一种新的微纳米传动机的及其传动比的设计计算方法，并为实验所验证，介绍了一种亚微米量级的闭环测控系统，工作稳定可靠，测控精度高，为微驱动器的研制成功打下了坚实基础，确保其性能技术达到了设计要求。
压电型微驱运器
【摘 要】
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提出了一种新的微纳米传动机的及其传动比的设计计算方法，并为实验所验证，介绍了一种亚微米量级的闭环测控系统，工作稳定可靠，测控精度高，为微驱动器的研制成功打下了坚实基础，确保
【机 构】
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仪器工程系
【出 处】
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上海交通大学学报
【发表日期】
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1997年1期
【基金项目】
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上海市自然科学发展基金
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