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本文简要介绍了限制电子束光刻分辨率的主要因素之一-邻近效应的产生机制,列举了校正邻近效应的GHOST法、图形区密集度分布法和掩模图形形状改变法,介绍了每种方法的原理、步骤和效果,比较了它们各自的优缺点.
电子束光刻中邻近效应校正的几种方法
【摘 要】
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本文简要介绍了限制电子束光刻分辨率的主要因素之一-邻近效应的产生机制,列举了校正邻近效应的GHOST法、图形区密集度分布法和掩模图形形状改变法,介绍了每种方法的原理、步
【机 构】
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中国科技大学结构分析重点实验室,合肥学院数学与物理系
【出 处】
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电子显微学报
【发表日期】
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2005年5期
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