超精密工件台相关论文
采用Modelica语言，建立光刻机超精密工件台仿真模型库，并在Mworks平台上进行联合仿真．仿真结果验证了模型的正确性，表明工件台的定位精......
通过分析超精密工件台系统的研究现状和存在问题及电流变液ERF的机理和应用现状,提出"基于ERF半主动阻尼的直线电机驱动-气浮/磁浮......
为满足超精密工件台结构极高的静动性能要求,提出了一种基于目标分层的多目标结构拓扑优化方法,并将其应用于超精密工件台关键件的......
描述了一种应用于集成电路（IC）制造的超精密工件台的运动控制．介绍了超精密工件台主从控制原理，它结合了粗动台和精动台两者的优点以实......
为了研究多种作用因素在高加速、大行程条件下对超精密微动台静态精度的影响,利用刚体运动学,通过综合工件台中的线性位置误差与角......
