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介绍使用在超高超人空下，被抽气体主要为ＣＯ的小体积、大抽速、多发源钛升华泵的设计思想、结构特点和部分测试结果。
小体积大抽速多发源钛升华泵
【摘 要】
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介绍使用在超高超人空下，被抽气体主要为ＣＯ的小体积、大抽速、多发源钛升华泵的设计思想、结构特点和部分测试结果。
【机 构】
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中国科学院等离子体物理研究所
【出 处】
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真空科学与技术
【发表日期】
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1999年A10期
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