【摘 要】
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1. 前言光学薄膜是四十年代以后随着真空蒸发法的发展而开始普及的。进入六十年代后,由于电子枪的进步,其应用领域进一步扩大了。为了适应这类装置的发展,光学薄膜所用的材
【机 构】
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日本プトロニ研究开发部(株),日本プトロニ研究开发部(株)
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1. 前言光学薄膜是四十年代以后随着真空蒸发法的发展而开始普及的。进入六十年代后,由于电子枪的进步,其应用领域进一步扩大了。为了适应这类装置的发展,光学薄膜所用的材料也由低融点的金属和氟化物、硫化物等向高融点的氧化物发展。不只是光学特性,还附加了其它功能,例
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