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介绍了一种供表面分析用的电子能谱仪样品预处理装置。详细说明了各部件的结构和功能。列出了装置的主要技术指标。对某些特殊结构的设计和工艺特点作了专门讨论。
电子能谱仪多功能样品预处理装置
【摘 要】
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介绍了一种供表面分析用的电子能谱仪样品预处理装置。详细说明了各部件的结构和功能。列出了装置的主要技术指标。对某些特殊结构的设计和工艺特点作了专门讨论。
【机 构】
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中国科学院沈阳科学仪器研制中心,中国科学院兰州化学物理研究所
【出 处】
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分析仪器
【发表日期】
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1993年4期
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