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研究了不同厚度的纳米Al膜在2～18GHz频率的介电特性。结果表明：纳米Al膜的介电常数具有尺寸效应，并在33nn、时出现极值。薄膜的介电常数随电磁波频率的变化而变化。纳米Al膜直流电导率的实验结果，证明了薄膜结构变化是导致介电常数随厚度变化的直接原因。
纳米Al膜的微波介电特性研究
【摘 要】
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研究了不同厚度的纳米Al膜在2～18GHz频率的介电特性。结果表明：纳米Al膜的介电常数具有尺寸效应，并在33nn、时出现极值。薄膜的介电常数随电磁波频率的变化而变化。纳米Al膜直流
【机 构】
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中国科学院金属研究所
【出 处】
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金属功能材料
【发表日期】
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2006年1期
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