【摘 要】
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鉴于微机电系统（MEMS）承载的特殊功能，其制造技术成为当前研究的热点。微细电铸以其固有的诸多技术优势，成为制造复杂结构MEMS零部件的主流技术。概述了超声微细电铸技术、超临界
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鉴于微机电系统（MEMS）承载的特殊功能，其制造技术成为当前研究的热点。微细电铸以其固有的诸多技术优势，成为制造复杂结构MEMS零部件的主流技术。概述了超声微细电铸技术、超临界微细电铸技术、屏蔽模板随动式微细电铸技术、辅助交变低气压一温度梯度微细电铸技术和高压微细电铸技术五项面向微机电系统的新型微细电铸制造工艺及其研究进展，并指出了今后的研究重点。
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