高亮度金刚石薄膜场发射荧光管的制作

来源 :光电子技术 | 被引量 : 0次 | 上传用户:yzl417801753
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利用微波等离子化学气相沉积法,制备出类球状微米金刚石聚晶薄膜作为场发射阴极材料。通过采用低熔点玻璃粉烧结工艺,从器件封装、器件烧结、器件排气和器件烤消等方面进行了探索和创新,实现了场致发射荧光管的高真空封装。综合采用这套技术,已经研发出的真空场致发射荧光管,在5.45V/μm电场下,光的亮度达到了11000cd/m^2。为将来设计制作矩阵寻址场发射平板显示器件奠定了基础。
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