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作为具有优异介电性、压电性的宽禁带半导体材料，ＡＩＮ是重要的电子封装材料、绝缘介质材料、声表面波材料和蓝光紫外发光材料。本文介绍了ＡＩＮ材料结构特性、薄膜制备及应用的最新进展。
性能优异的多功能宽禁带半导体AlN薄膜
【摘 要】
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作为具有优异介电性、压电性的宽禁带半导体材料，ＡＩＮ是重要的电子封装材料、绝缘介质材料、声表面波材料和蓝光紫外发光材料。本文介绍了ＡＩＮ材料结构特性、薄膜制备及应用的最新进展
【机 构】
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中国科学院上海冶金所
【出 处】
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功能材料
【发表日期】
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1999年2期
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