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利用光声法研究光学膜在55ns脉冲KrF激光照射下的破坏现象。实验结果表明光学膜在受损后其膜层内的光波的波形发生变形,波幅急剧增大,由ZrO2/SiO2构成的四分之一波长膜堆其破坏阈值小于1J/cm^2,光学膜发生破坏的主要原因是膜系中ZrO2膜层的中吸收系数太大。为了提高学膜的破坏阈值不仅要选择消光系数小的材料,而且还要考虑光的极化效应。