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光电轴角编码器广泛应用于精密角位置的测量、数控及数显系统中 ,是国内外研究的热点。采用衍射、干涉技术的光电轴角编码器 (简称激光编码器 )具有结构紧凑、小型化 ;分辨率和测角精度高 ;响应频率高等优点。通过对几种激光编码器的成功方案的深入分析 ,阐述了这项技术的最新进展和所面临的问题。
采用衍射、干涉技术提高光电轴角编码器的测角精度和分辨率
【摘 要】
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光电轴角编码器广泛应用于精密角位置的测量、数控及数显系统中 ,是国内外研究的热点。采用衍射、干涉技术的光电轴角编码器 (简称激光编码器 )具有结构紧凑、小型化 ;分辨率
【机 构】
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中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
【出 处】
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光学精密工程
【发表日期】
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2001年03期
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