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本文叙述采用干涉光栅的线性位移转换器,其光源为激光器,激光在光栅上发生衔射,通过光学系统使不同级的衍射条纹间产生干涉现象,光栅作线位移时,用光电接收器记录下干涉条纹的明暗变化次数即能测出位移的大小。用光学内插法或电学内插法便可提高转换器的灵敏度。本文所述转换器是一种尚未见有报道的新型转换器。
采用干涉光栅的高灵敏线位移转换器
【摘 要】
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本文叙述采用干涉光栅的线性位移转换器,其光源为激光器,激光在光栅上发生衔射,通过光学系统使不同级的衍射条纹间产生干涉现象,光栅作线位移时,用光电接收器记录下干涉条纹
【出 处】
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电子工业专用设备
【发表日期】
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1992年2期
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