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<正> 一般工艺和经济问题 微电子技术奠定了用于信息处理、储存和传输的复杂多功能电子设备的研制基础。微电子学诞生于25年前,它经历了用单个晶体管到用超大规模(VLSI)和超高速集成(VHSIC)电路集成为功能器件和超高速系统(如单片微机)的发展过程。微电子技术迅猛发展的原因显而易见,现代电子器件能在最短的时间内完成大量复杂的工作,而且功耗很低。