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采用先进的CVD技术,以TEOS/O2作为反应剂,对平均孔径约4nm的硼硅酸盐多孔玻璃进行了改质处理,在反复试验的基础上,探讨了试验条件参数优化和气体渗透分离机理等问题,获得了He/N2分离系数在室温下约25,并随温度增高而显著增大的改质效果,提供了环保,化工等领域气体混合物分离的一种途径。