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在不同的负直流衬底偏压下,用脉冲激光沉积法在单晶Si和K9玻璃衬底上沉积水晶碳膜.用扫描电镜观察膜的表面形貌;用椭偏法测量沉积在K9玻璃上的膜的厚度和折射率;显微硬度相对于硅衬底测量;对沉积在硅衬底上的膜进行了Raman光谱分析,光谱表现为3个峰.在激光能量相同时,线宽随偏压不同而不同,膜的硬度随偏压不同而不同.