磁头用软磁Fe—Co—Al—O薄膜的结构和性能

来源 :磁性材料及器件 | 被引量 : 0次 | 上传用户：zhangliu2009

【摘要】

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用射频磁控溅射方法制备了记录磁头用FeCoAlO薄膜软磁材料，与FeCo合金薄膜相比，FeCoAlO薄膜的软磁性能有明显改善。（Fe72Co28）100-x（Al2O3）x薄膜的饱和磁感应强度Bs在x=3．1～5．9范围内

【作者】

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卢佳郑富王璇刘立旺张璐然魏福林

【机构】

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兰州大学磁学与磁性材料教育部重点实验室磁性材料研究所

【出处】

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磁性材料及器件

【发表日期】

：

2009年5期

【关键词】

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FeCoAlO薄膜纳米晶软磁性能 FeCoAlO thin film nanocrystalline soft magnetic properties

【基金项目】

：

国家自然科学基金资助项目（10874060）

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用射频磁控溅射方法制备了记录磁头用FeCoAlO薄膜软磁材料，与FeCo合金薄膜相比，FeCoAlO薄膜的软磁性能有明显改善。（Fe72Co28）100-x（Al2O3）x薄膜的饱和磁感应强度Bs在x=3．1～5．9范围内基本保持恒定，当x〉5．9时，饱和磁感应强度急剧降低；其矫顽力随Al2O3含量的增加迅速降低。当Al2O3含量为5．9时，薄膜的矫顽力由未加Al2O3时的3580A／m下降到Hcc≈18A／m，Hch≈289A／m，饱和磁感应强度Bs=2．15T；薄膜还表现出良好的高频特性，当频率压1．

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