四极质谱定量(分压强)分析方法研究取得初步成果

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《实用的常量气体四极质谱分压强分析方法》成果鉴定会,由中国电子器件工业总公司主持,于1982年1月10日至12日举行。通过对这一成果的汇报、讨论及现场测试(抽测),参加鉴定的代表认为,用四极质谱计进行气体分析,在电子工业等部门有着广泛应用。其定量分析方法及分析精度,一直是人们 The Practical Identification of Gas Quadrupole Mass Spectrometry Partial Pressure Analysis Method was appraised by China Electronics Industry Corporation and held from January 10 to January 12, 1982. Through reporting, discussing and field testing (sampling) on ​​this achievement, delegates participating in the appraisal believe that the gas analysis with quadrupole mass spectrometer has been widely used in the electronics industry and other sectors. Its quantitative analysis methods and analysis accuracy, has been people
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