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通过测量调制掺杂Al0.22Ga0.78N／GaN异质结样品的变频电容-电压(C-V)特性，对Al0.22Ga0.78N势垒层表面态的性质进行了研究．结果发现在小偏压下，样品的电容随着测量信号频率的增加而下降，说明势垒层中存在表面态．实验数据分析表明：表面态密度约为10^13cm^-2量级，表面态的时间常数比势垒层中其他局域态大．随着空间隔离层厚度的增加，势垒层中其他局域态密度随之增加．在金属电极和Al0.22Ga0.78N势垒层之间加入Si3N4绝缘层可以对表面态起到显著的钝化作用，使表面态密度降为～1