【摘 要】
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针对AlGaN（Aluminum Gallium Nitride）基深紫外LED（Light Emitting Diode）发光效率低、工作偏压较大的问题，设计了一种带有n+-GaN/Al0.4Ga0.6N/p+-GaN隧道结的氮极性AlGaN基深紫外LED器件结构。该结构由n-Al0.65Ga0.35N电子提供层、 Al0.65Ga0.35N/Al0.5Ga0.5N多量子阱、组分渐变p-AlxG
【基金项目】
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国家自然科学基金资助项目（62104078; U22A20134; 62074069）； 国家重点研发计划基金资助项目（2021YFB3601000; 2021YFB3601002; 2022YFB3605205）； 吉林大学研究生教育教学改革研究基金资助项目（2021JGZ32）;吉林大学本科教学改革研究基金资助项目（2021X
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针对AlGaN（Aluminum Gallium Nitride）基深紫外LED（Light Emitting Diode）发光效率低、工作偏压较大的问题，设计了一种带有n+-GaN/Al0.4Ga0.6N/p+-GaN隧道结的氮极性AlGaN基深紫外LED器件结构。该结构由n-Al0.65Ga0.35N电子提供层、 Al0.65Ga0.35N/Al0.5Ga0.5N多量子阱、组分渐变p-AlxGa1-xN和n+-GaN/Al0.4Ga0.6N/p+-GaN隧道结构成。研究结果表明，相比于无隧道结的参考LED,隧道结LED具有更高的内量子效率和光输出功率，同时其具有更低的开启电压。隧道结LED光电特性的改善，归因于隧道结的引入提升了LED的空穴注入效率，提高了LED器件的电流扩展能力。通过模拟软件对半导体器件载流子输运、光电特性的模拟，有助于加深对半导体器件物理特性的理解。若在“半导体器件物理”学习课程加入对半导体器件模拟软件的学习，能有效提升学生对半导体器件物理知识的理解和探索。
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