MOS大规模集成电路的静电保护

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<正> 晶体管出现后经历了二十五年的电子工业,至今已迎来了五光十色的集成电路时代。在此发展过程中,由电子部件、电子产品的高性能超精密化而派生的新课题之一,就有由静电引起的失效问题。作为其中最典型的例子的对静电抵御力弱的MOS集成电路、MOS大规模集成电路等,与易产生静电的塑料之类的加工品、制品相处在一起时,往往发生失效。本文对保护抗静电力弱的电子部件产品为目的而发展的导电性膜片、导电性海绵板,就实用上的问题阐述它们的情况。
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