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电弧源薄膜制备具有高离化率、高离子能量和高沉积速率的特点，但是“大颗粒”问题严重影响着薄膜的质量。文中采用YBHHHA-1—001型硬质镀膜机，研究分析了磁过滤系统中的偏移磁场、聚焦磁场、稳孤磁场及其相互作用。针对阴极靶材周围的电磁场的作用，本文采取大量实验观察分析，最终得到如下结论：通过偏移磁场幅值的调整，阴极靶材表面放电区域从靶材表面一侧向另一侧移动；而聚焦磁场则主要影响靶材表面放电区域的大小，稳弧磁场主要影响阴极孤斑在靶材表面运动的稳定性。