多弧法沉积Ti(C,N)膜中的CN相

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在高速钢基片和〈100〉单晶硅片上,用多弧法在C2H2,N2,Ar的气氛中电弧蒸发Ti靶来制备沉积Ti(C,N)膜。总气压在1.2Pa内,起始镀膜温度为260℃。Ti(C,N)膜的晶格取向以除了〈111〉,〈200〉,〈220〉外,还出现一些新的衍射峰,配合XPS成份分析,本文认为Ti(C,N)膜中有CN结构相存在。随着C2H2/N2流量比的增加,膜中增加了TiC、CN结构超硬相和石墨相,从而导致
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