【摘 要】
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针对液体流速测量领域中微型流量传感器高品质因数、高灵敏度的性能要求.本文设计一种双端增强型薄膜谐振结构实现Lamb波传感器的高品质因数,利用传感器反对称模式（A01模式）在
【机 构】
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上海大学机电工程与自动化学院,中国科学院苏州生物医学工程技术研究所
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针对液体流速测量领域中微型流量传感器高品质因数、高灵敏度的性能要求.本文设计一种双端增强型薄膜谐振结构实现Lamb波传感器的高品质因数,利用传感器反对称模式（A01模式）在薄膜-液体界面处的消逝波实现液体流速矢量测量.所制作的双端增强型薄膜谐振Lamb传感器A01模式的主峰品质因数为703,A01模式的频率移动量与液体流速大小存在线性关系,频率移动方向与液体流动方向存在对应关系.流速实测灵敏度约为270 Hz/mm/s,传感器稳定性噪声小于0.2 Hz,流速最低检测极限值（LOD）为2.2 μm/s,流量
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