离子探针质谱分析技术

来源 :矿物岩石地球化学通报 | 被引量 : 0次 | 上传用户:yujing4953
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1、离子探针的特点和功能:(1)检测灵敏度高,能测量包括氢在内的元素周期表上全部元素。绝对灵敏度为10<sup>-15</sup>~10<sup>19</sup>,能检测相对含量为10<sup>-6</sup>~10<sup>-9</sup>原子浓度的微量杂质。因此它可以作金属超纯分析,半导体微量杂质测量和矿物微量元素分析。(2) 微区表面薄膜分析。它的横向(X—Y)分辨率为1~2μm,能在1~6nm厚的表面薄
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