X射线谱仪的一种新调焦结构

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本文分析了谱仪的X射线光学原理及运动几何学,提出了相应的措施,克服探测器沿非圆形轨道运动等加工的难点,讨论了五种不同运动结构的谱仪,导出一种新型结构。理论分析表明,它与其它结构类型相比,更能满足于近代电子显微分析仪器日益提高的精度要求。
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