工艺参数对反应烧结AlN陶瓷的影响

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以Al,AlN粉为原料,采用反应烧结技术制备AlN陶瓷。Al粉含量、Al粉粒径、成型压力和升温制度是RBAN的重要工艺参数,优化工艺参数可制备出性能良好的AlN陶瓷。Al体积分数45%,1700℃温度下可制备出烧结密度为93%,抗弯强度为292MPa的AlN陶瓷。
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