【摘 要】
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针对传统的角速率陀螺仪存在的缺点与不足，根据电子隧道效应的特点，设计了一种新型基于隧道效应的微机械陀螺仪，运用计算机辅助软件ANSYS对其进行了建模和仿真．把电子隧道原理应
【机 构】
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中北大学电子测试技术国家重点实验室
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针对传统的角速率陀螺仪存在的缺点与不足，根据电子隧道效应的特点，设计了一种新型基于隧道效应的微机械陀螺仪，运用计算机辅助软件ANSYS对其进行了建模和仿真．把电子隧道原理应用到微机械振动陀螺中对振动位移进行检测，结构简单，功耗低，抗干扰能力强，可靠性好，线性度高，具有很高的灵敏度，尤其在提高微机械振动陀螺的测量精度和灵敏度的方面显示其优势．
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