Spectral spatial coherence of high-power multi-chip LEDs

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We investigate the spatial coherence of the light generated from high-power multi-chip red LEDs by using the van Cittert- Zernike theorem. It is theoretically demonstrated that the light generated from multi-chip LEDs evolves into partially coherent light after propagation, and the spatial coherence is increased with the increase of propagation distance. Moreover, the spatial coherence of the light is found to be closely related to the chip distribution of multi-chip LEDs. The distribution of the spatial coherence of the light is experimentally examined by Young’s double-slit interference. It is found that the experimental results are consistent with the theoretical ones.
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为实现金属光栅偏振器件在光刻机偏振照明系统中的应用,基于共振域光栅的反常偏振效应,提出一种以二氧化硅为基底、铝与氟化镁作为栅线材料的介质-金属光栅偏振器。与传统的亚波长金属光栅偏振器相比,该偏振器的光栅周期接近入射波长(0.19~0.20 μm),表现出透射TE偏振光、反射TM偏振光的反常特性。由时域有限差分算法(FDTD)的数值模拟结果可得,当波长为0.193 μm的光垂直入射时,该光栅偏振器对TE偏振光的透过率大于60%,偏振消光比大于180。与具有相同结构参数和栅线材料的单层金属光栅偏振器相比,该介
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