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本文通过温度测量实验,对直拉法硅熔体流动状态及强度进行了研究。证明熔体的温度梯度及热对流强度随熔体深度的减小而减小,并讨论了熔体对流对硅单晶中氧含量的影响。
采用温度测量的方法对直拉法熔体流动的研究
【摘 要】
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本文通过温度测量实验,对直拉法硅熔体流动状态及强度进行了研究。证明熔体的温度梯度及热对流强度随熔体深度的减小而减小,并讨论了熔体对流对硅单晶中氧含量的影响。
【机 构】
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北京有色金属研究总院,北京有色金属研究总院100088,100088,100088
【出 处】
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半导体技术
【发表日期】
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1992年1期
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