In_2o_3热线型乙醇气敏元件研究

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在纯度为99.998%的超微细粉体In2O3中,掺入适当配比的PtO2,MgO,CaO 等金属氧化物构成气敏材料,用Pt丝作热敏材料,采用热线型元件制作工艺,700 ℃烧结1 h,可制作出乙醇气敏元件.测试表明:该元件灵敏度高,响应恢复快,功耗低(≤200 mW) ,对汽油、烟雾等其他干扰气体有良好的选择性. The ultrafine powder In2O3 with the purity of 99.998% is doped with metal oxide such as PtO2, MgO, CaO and the like in a suitable ratio to form a gas-sensitive material, a Pt wire is used as a heat-sensitive material, a hot-wire type component manufacturing process is adopted, Sintering 1 h, can produce ethanol gas sensor. The test shows that the device has high sensitivity, fast response recovery, low power consumption (≤200 mW) and good selectivity for gas, smoke and other interference gases.
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