电子束蒸镀透明导电薄膜

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一、引言 In_2O_3-SnO_2透明导电薄膜,具有高透明导电性能,因此被用作电光显示、电光快门的透明电极以及增透膜和红外反射膜等。人们用金属、金属氧化物等制备材料,提出各种制备方法,得可见光透光率大于90%,电阻率10~(-4)(?)·cm数量级的透明电极。目前,欲得透光率高 I. Introduction In_2O_3-SnO_2 transparent conductive film, with high transparent conductive properties, it is used as electro-optic display, electro-optical shutter transparent electrodes and AR coatings and infrared reflective film. People use metal, metal oxide and other materials to prepare a variety of preparation methods, visible light transmittance greater than 90%, the resistivity of 10 ~ (-4) (?) · Cm order of magnitude transparent electrode. At present, for high transmittance
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