【摘 要】
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提出了激光光纤准直与位敏元件（ＰＳＤ）用于大尺寸孔－孔同轴度测量的方法。应用光波导技术，采用激光器作光源，自聚焦透镜作藕合透镜，用单模光纤传输光束，在很大程度上消除了激光腔本身引起
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提出了激光光纤准直与位敏元件（ＰＳＤ）用于大尺寸孔－孔同轴度测量的方法。应用光波导技术，采用激光器作光源，自聚焦透镜作藕合透镜，用单模光纤传输光束，在很大程度上消除了激光腔本身引起的光束漂移，滤除了光波的高频成分，改善了准直光束的波前和能量分布，对低频空气扰动进行了部分补偿，实现了长距离较高精度的准直及孔－孔同轴度测量，并对测量系统进行了精度分析。
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