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KLA-Tencor公司近日推出Aleris8310和A-1efts8350，在Aleris系列薄膜量测系统中增添了两款新品。这些量测系统采用KLA-Tencor的最新一代宽带光谱椭圆偏光法（Broadband Spectroscopic Ellipsometry，BBSE）光学元件，让芯片制造商能够测量多层薄膜的厚度、折射率与应力来满足先进的薄膜度量要求。